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；As+注入硅的紫外-可见椭圆偏振光谱

物理学报, 1987, 36(8): 1064-1069.
DOI: 10.7498/aps.36.1064
CSTR: 32037.14.aps.36.1064

ON ULTRAVIOLET-VISIBLE ELLIPOMETRIC SPECTRA OF As+ IMPLANTED SILICON

Acta Phys. Sin., 1987, 36(8): 1064-1069.
DOI: 10.7498/aps.36.1064
CSTR: 32037.14.aps.36.1064
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