a-Si:H/a-SiNx:H超晶格薄膜的光学性质

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a-Si:H/a-SiNx:H超晶格薄膜的光学性质

物理学报, 1988, 37(2): 189-196.

DOI: 10.7498/aps.37.189

CSTR: 32037.14.aps.37.189

OPTICAL PROPERTIES OF THE a-Si:H/a-SiNx:H SUPERLATTICE FILMS

Acta Phys. Sin., 1988, 37(2): 189-196.

DOI: 10.7498/aps.37.189

CSTR: 32037.14.aps.37.189

摘要

本文介绍,当a-SiNx:H层的厚度一定,a-Si:H层的厚度不同时,a-Si:H/a-SiNx:H超晶格薄膜的光吸收系数、光学禁带宽度以及折射率随之变化的规律。
Abstract
In this paper, the optical absorption coefficient, optical gap and the index of refraction of a-Si:H/a-SiNx:H superlattice films were studied as a function of a-Si:H sublayer thickness with a-SiNx:H sublayer thickness being kept constant.
作者及机构信息
王志超,

刘湘娜,

冯小梅,

耿晰昇
Authors and contacts
参考文献

施引文献

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