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研究半导体超晶格界面粗糙的X射线双晶Pendellosung方法
庄岩
,
王玉田
,
潘士宏
物理学报, 1995,
44(7)
: 1073-1080.
DOI:
10.7498/aps.44.1073
CSTR:
32037.14.aps.44.1073
Zhang Yan
,
Wang Yu-Tian
,
Pan Shi-Hong
Acta Phys. Sin.
, 1995,
44(7)
: 1073-1080.
DOI:
10.7498/aps.44.1073
CSTR:
32037.14.aps.44.1073
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运用高精度X射线双晶衍射议对GeSi/Si应变超晶格进行了分析研究,实验上观测到在卫星峰之间存在着干涉条纹(Pendellosung),建立了界面的随机概率模型.结合计算机模拟发现:Pendellosung条纹对界面的粗糙十分敏感,当界面粗糙度较小时,只影响Penderllosung条纹的规则排列,而当粗糙度较大时,不仅使Pendellosung条纹强度下降,规则排列受到破坏,并且还将导致高级卫星峰强度下降,峰形严重宽化.
Abstract
作者及机构信息
庄岩
,
王玉田
,
潘士宏
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