-
采用蒙特卡罗模拟对氮气辉光放电等离子体阴极鞘层内离子(N2+,N+)和快中性分子(N2f)的输运过程进行了研究，计算了阴极鞘层中离子(N2+,N+)和快中性分子的能量及角分布的空间变化，较好地解释了实验结果.得到了氮气辉光放电等离子体阴极附近主要存在着能量较低的荷能分子、密度较低的高能原子离子及密度和能量居中的分子离子.诸粒子状态随放电条件而变化.模拟结The ions(N2+,N+) and fast nitrogen molecular (N2f) transport process in cathode sheath of nitrogen glow discharge plasma is studied by using Monte Carlo simulation. Spatial variation of energy distribution and a
搜索
x
中国物理学会期刊
下载: