实验条件对纳米多孔SiO2薄膜结构及特性的影响

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实验条件对纳米多孔SiO2薄膜结构及特性的影响

物理学报, 2001, 50(1): 175-181.

DOI: 10.7498/aps.50.175

CSTR: 32037.14.aps.50.175

Acta Phys. Sin., 2001, 50(1): 175-181.

DOI: 10.7498/aps.50.175

CSTR: 32037.14.aps.50.175

摘要
Abstract
作者及机构信息
吴广明,

王珏,

沈军,

杨天河,

张勤远,

周斌,

邓忠生,

范滨,

周东平,

张凤山
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参考文献

施引文献

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