搜索

x
中国物理学会期刊
高级检索

MeV Si离子轰击SiO2溅射行为研究

物理学报, 2004, 53(5): 1445-1449.
DOI: 10.7498/aps.53.1445
CSTR: 32037.14.aps.53.1445

Study on the sputtering mechanism of SiO2 irradiated with MeV Si ions

Acta Phys. Sin., 2004, 53(5): 1445-1449.
DOI: 10.7498/aps.53.1445
CSTR: 32037.14.aps.53.1445
PDF
导出引用

  • 摘要

    Abstract

      作者及机构信息

      Authors and contacts

      参考文献

    目录

    /

    返回文章
    返回