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硅中退火多边化

王贵华 刘振茂

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硅中退火多边化

王贵华, 刘振茂

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出版历程
  • 收稿日期:  1965-01-18
  • 刊出日期:  1966-02-05

硅中退火多边化

  • 1. 哈尔滨工业大学

摘要: 用化学侵蚀法对硅单晶中的退火多边化进行了实验研究。研究了多边化过程及其与退火温度的关系。根据实验数据求出硅中位错攀移激活能,发现形变时产生双滑移系退火而不形成多边化墙的主要原因,并非由于形成Lomer-Cottrell位错。

English Abstract

参考文献 (1)

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