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离子注入Si在连续CO2激光退火时的动态反射特性

李元恒

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离子注入Si在连续CO2激光退火时的动态反射特性

李元恒

DYNAMIC REFLECTION PROPERTY OF ION-IMPLANTED Si BY CW CO2 LASER ANNEALING

LI YUAN-HENG
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出版历程
  • 收稿日期:  1980-09-06
  • 刊出日期:  1981-02-05

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