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掺铬半绝缘砷化镓材料的硅离子注入

王渭源 乔墉 林成鲁 罗潮渭 周永泉

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掺铬半绝缘砷化镓材料的硅离子注入

王渭源, 乔墉, 林成鲁, 罗潮渭, 周永泉

SILICON IMPLANTATION IN SEMI-INSULATING GaAs SUBSTRATE

WANG WEI-YUAN, QIAO YONG, LIN CHENG-LU, LUO CHAO-WEI, ZHOU YONG-QUAN
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出版历程
  • 收稿日期:  1981-04-20
  • 刊出日期:  1982-01-05

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