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射频溅射无定形硅的总空位体积分数

费庆宇 黄炳忠

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射频溅射无定形硅的总空位体积分数

费庆宇, 黄炳忠

THE TOTAL VOLUME FRACTION OF VOIDS OF RF SPUTTERED AMORPHOUS SILICON

FEI QING-YU, HUANG BING-ZHONG
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出版历程
  • 收稿日期:  1984-07-02
  • 刊出日期:  1985-11-20

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