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硼注入砷化镓的电子阻止本领

程兆年 王渭源

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硼注入砷化镓的电子阻止本领

程兆年, 王渭源

ELECTRONIC STOPPING POWER OF B+ IMPLANTATION IN GaAs

CHENG ZHAO-NIAN, WANG WEI-YUAN
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出版历程
  • 收稿日期:  1984-10-04
  • 刊出日期:  2005-03-31

硼注入砷化镓的电子阻止本领

  • 1. 中国科学院上海冶金研究所

摘要: 由文献上Rp的实验数据,用相对校正法和我们编制的LSS方程数值求解程序,算得B+→GaAs的电子阻止本领为NSe(E)=12.4E0.605,以及B+→GaAs的射程统计参数Rp,△Rp和R⊥。

English Abstract

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