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NH3退火热氮化SiO2薄膜及其与Si界面特性的研究

齐鸣 罗晋生

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NH3退火热氮化SiO2薄膜及其与Si界面特性的研究

齐鸣, 罗晋生

A STUDY ON THE PROPERTIES OF SiO2 THIN FILM THERMALLY NITRIDED IN AMMONIA AND ITS INTERFACE

QI MING, LUO JIN-SHENG
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出版历程
  • 收稿日期:  1987-12-19
  • 刊出日期:  1988-05-05

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