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SiO_2上共溅射W-Si薄膜退火后的X射线衍射研究

陈存礼;周衡南;曹明珠;蒋宏伟;徐伟文;郭玲;黄敏

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SiO_2上共溅射W-Si薄膜退火后的X射线衍射研究

陈存礼;周衡南;曹明珠;蒋宏伟;徐伟文;郭玲;黄敏

X-RAY DIFFRACTION INVESTIGATION FOR ANNEALING OF Co-SPUTTERED W-Si FILMS ON S10_2_

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出版历程
  • 刊出日期:  1989-04-05

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