搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

射频低压等离子体电子能量分布函数的探针诊断

朱文浩 朱南强 陈跃山

引用本文:
Citation:

射频低压等离子体电子能量分布函数的探针诊断

朱文浩, 朱南强, 陈跃山

PROBE DIAGNOSTICS OF THE ELECTRON ENERGY DISTRIBUTION FUNCTION IN A LOW PRESSURE RF PLASMA

ZHU WEN-HAO, ZHU NAN-QIANG, CHEN YUE-SHAN
PDF
导出引用
计量
  • 文章访问数:  7123
  • PDF下载量:  565
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  1988-06-03
  • 刊出日期:  1989-01-05

/

返回文章
返回