搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

射频低压等离子体电子能量分布函数的探针诊断

朱文浩 朱南强 陈跃山

引用本文:
Citation:

射频低压等离子体电子能量分布函数的探针诊断

朱文浩, 朱南强, 陈跃山

PROBE DIAGNOSTICS OF THE ELECTRON ENERGY DISTRIBUTION FUNCTION IN A LOW PRESSURE RF PLASMA

ZHU WEN-HAO, ZHU NAN-QIANG, CHEN YUE-SHAN
PDF
导出引用
计量
  • 文章访问数:  5652
  • PDF下载量:  552
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  1988-06-03
  • 刊出日期:  1989-01-05

射频低压等离子体电子能量分布函数的探针诊断

  • 1. 清华大学工程力学系
    基金项目: 国家自然科学基金

摘要: 本文对于无内电极放电的射频低压等离子体,采用探针电流调制法,设计并建立了三探针诊断电子能量分布函数的测量系统,测量了压力在10-3—10-1Torr下氮气等离子体的电子能量分布函数。从理论和实验上研究了探针鞘层上射频干扰电压对测量电子能量分布函数的影响,给出了确定射频干扰值以及对射频干扰的影响进行修正的方法,并采用该方法对实验数据进行了修正,得到了正确的电子能量分布函数。根据所得到的电子能量分布函数计算的电子平均能量,与由探针伏安特性计算得到的电子平均能量相差不超过5%,该结果间接证明了本文实验测量系统的可靠性以及对射频干扰影响进行修正的正确性。

English Abstract

目录

    /

    返回文章
    返回