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射频低压等离子体电子能量分布函数的探针诊断

朱文浩 朱南强 陈跃山

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射频低压等离子体电子能量分布函数的探针诊断

朱文浩, 朱南强, 陈跃山

PROBE DIAGNOSTICS OF THE ELECTRON ENERGY DISTRIBUTION FUNCTION IN A LOW PRESSURE RF PLASMA

ZHU WEN-HAO, ZHU NAN-QIANG, CHEN YUE-SHAN
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出版历程
  • 收稿日期:  1988-06-03
  • 刊出日期:  1989-01-05

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