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类金刚石膜不同能量下的离子注入

项金钟 郑志豪 熊京 张仿清

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类金刚石膜不同能量下的离子注入

项金钟, 郑志豪, 熊京, 张仿清

DIAMOND-LIKE CARBON FILMS IMPLANTED WITH VARIOUS ION ENERGY

XIANG JIN-ZHONG, ZHENG ZHI-HAO, XIONG JING, ZHANG FENG-QING
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出版历程
  • 收稿日期:  1989-05-10
  • 刊出日期:  2005-06-22

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