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用高分辨率沟道背散射谱仪研究硅的低能氮离子氮化

朱德彰 潘浩昌 曹建清 朱福英 陈国明 陈国樑 杨絜 邹世昌

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用高分辨率沟道背散射谱仪研究硅的低能氮离子氮化

朱德彰, 潘浩昌, 曹建清, 朱福英, 陈国明, 陈国樑, 杨絜, 邹世昌

STUDY ON LOW ENERGY ION BEAM NITRIDATION OF Si BY HIGH RESOLUTION CHANNELING-BACKSCATTERING

ZHU DE-ZHANG, PAN HAO-CHANG, CAO JIAN-QING, ZHU FU-YING, CHEN GUO-MING, CHEN GUO-LIANG, YANG JIE, ZOU SHI-CHANG
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出版历程
  • 收稿日期:  1989-10-18
  • 刊出日期:  1990-04-05

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