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SiH4激光等离子体内自由基反应动力学研究

傅广生 王金国 李晓苇 韩理 吕福润

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SiH4激光等离子体内自由基反应动力学研究

傅广生, 王金国, 李晓苇, 韩理, 吕福润

A STUDY ON REACTION KINETICS OF THE RADICALS PRODUCED IN THE LASER-INDUCED SILANE PLASMA

FU GUANG-SHENG, WANG JIN-GUO, LI XIAO-WEI, HAN LI, Lü FU-RUN
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出版历程
  • 收稿日期:  1990-12-25
  • 刊出日期:  1991-06-05

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