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离子轰击入射角对溅射参数的影响

邵其鋆 霍裕昆 陈建新 吴士明 潘正瑛

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离子轰击入射角对溅射参数的影响

邵其鋆, 霍裕昆, 陈建新, 吴士明, 潘正瑛

INFLUENCE OF THE INCIDENCE ANGLE OF THE ION-BOMBARDMENT ON THE SPUTTERING PARAMETERS

SHAO QI-YUN, HUO YU-KUN, CHEN JIAN-XIN, WU SHI-MING, PAN ZHENG-YING
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出版历程
  • 收稿日期:  1990-06-12
  • 刊出日期:  1991-02-05

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