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悬臂梁弯曲法研究氮化钛薄膜临界开裂行为与损毁机理

刘长清 金柱京 李美栓 呼和吉夫 吴维?

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悬臂梁弯曲法研究氮化钛薄膜临界开裂行为与损毁机理

刘长清, 金柱京, 李美栓, 呼和吉夫, 吴维?

CRITICAL CRACKING AND DAMAGE MODE OF TITANIUM NITRIDE FILMS

LIU CHANG-QING, JIN ZHU-JING, LI MEI-SHUAN, HUHE JI-FU, WU WEI-TAO
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出版历程
  • 收稿日期:  1991-06-25
  • 刊出日期:  2005-07-03

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