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Pd2Si的生成对Pd/Si多层膜衍射性能的影响

殷士龙 王兵 高琛 吴自勤 王晓平 赵特秀

引用本文:
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Pd2Si的生成对Pd/Si多层膜衍射性能的影响

殷士龙, 王兵, 高琛, 吴自勤, 王晓平, 赵特秀

EFFECT OF Pd2Si FORMATION ON X-RAY DIFFRACTION OF Pd/Si MULTILAYERS

YIN SHI-LONG, WANG BING, GAO CHEN, WU ZI-QIN, WANG XIAO-PING, ZHAO TE-XIU
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出版历程
  • 收稿日期:  1992-04-20
  • 刊出日期:  1993-02-05

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