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低能粒子轰击对Si(001)-2×1表面原子行为的影响:分子动力学模拟研究

郏正明 杨根庆 程兆年 柳襄怀 邹世昌

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低能粒子轰击对Si(001)-2×1表面原子行为的影响:分子动力学模拟研究

郏正明, 杨根庆, 程兆年, 柳襄怀, 邹世昌

STUDY OF EFFECTS OF LOW-ENERGY BOMBARDMENTS OF Si(001)-2×1 BY MOLECULAR DYNAMICS SIMULATION

JIA ZHENG-MING, YANG GEN-QING, CHENG ZHAO-NIAN, LIU XIANG-HUAI, ZOU SHI-CHANG
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出版历程
  • 收稿日期:  1993-12-14
  • 刊出日期:  1994-11-20

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