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晶粒尺寸对薄膜电阻率温度系数的影响

王晓平 赵特秀 季航 梁齐 董翊

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晶粒尺寸对薄膜电阻率温度系数的影响

王晓平, 赵特秀, 季航, 梁齐, 董翊

EFFECT OF GRAIN SIZE ON TEMPERATURE COEFFICIENT OF RESISTIVITY OF Pd THIN FILMS

WANG XIAO-PING, ZHAO TE-XIU, JI HANG, LIANG QI, DONG YI
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出版历程
  • 收稿日期:  1993-04-15
  • 刊出日期:  1994-01-05

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