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用Pendell?sung条纹研究硅单晶中微缺陷

李明 麦振洪 崔树范

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用Pendell?sung条纹研究硅单晶中微缺陷

李明, 麦振洪, 崔树范

CHARACTERIZATION OF MICRO-DEFECTS IN SILICON SINGLE CRYSTALS BY ANALYZING THE PENDELL?SUNG FRINGES

LI MING, MAI ZHEN-HONG, CUI SHU-PAN
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出版历程
  • 收稿日期:  1993-03-29
  • 刊出日期:  1994-01-20

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