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由低温退火轻掺杂控制a-Si:H膜的固相晶化成核

杜开瑛 饶海波

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由低温退火轻掺杂控制a-Si:H膜的固相晶化成核

杜开瑛, 饶海波

NUCLEATION MECHANISM OF THE SOLID PHASE CRY STALLIZATION OF a-Si:H FILMS CONTROLLED BY LIGHTLY DOPING IN LOW-TEMPE-RATURE ANNEALING

DU KAI-YING, RAO HAI-BO
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出版历程
  • 收稿日期:  1992-10-14
  • 修回日期:  1993-07-19
  • 刊出日期:  1994-03-05

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