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负偏压射频放电过程的流体力学模拟

朱武飚 王友年 邓新禄 马腾才

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负偏压射频放电过程的流体力学模拟

朱武飚, 王友年, 邓新禄, 马腾才

HYDRODYNAMICS SIMULATION OF RF DISCHARGE COURSES WITH NEGATIVE BIAS

ZHU WU-BIAO, WANG YOU-NAIN, DENG XIN-LU, MA TENG-CAI
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出版历程
  • 收稿日期:  1995-05-29
  • 刊出日期:  1996-07-20

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