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非晶调制多层膜Nb/Si中的互扩散研究

张明 于文 张君 张远仪 王文魁

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非晶调制多层膜Nb/Si中的互扩散研究

张明, 于文, 张君, 张远仪, 王文魁

STUDY THE INTERDIFFUSION IN AMORPHOUS Nb/Si MULTILAYER

ZHANG MING, YU WEN, ZHANG JUN, ZHANG YUAN-YI, WNAG WEN-KUI
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出版历程
  • 收稿日期:  1995-08-09
  • 刊出日期:  1996-05-05

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