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热丝法制备纳米晶硅薄膜结构及沉积机制的研究

陈国 郭晓旭 朱美芳 孙景兰 许怀哲 韩一琴

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热丝法制备纳米晶硅薄膜结构及沉积机制的研究

陈国, 郭晓旭, 朱美芳, 孙景兰, 许怀哲, 韩一琴

INVESTIGATION OF GROWTH MECHANISM OF NANOCRYSTALLINE SILICON THIN FILMS PREPARED BY HOT-FILAMENT CHEMICAL VAPOR DEPOSITION

CHEN GUO, GUO XIAO-XU, ZHU MEI-FANG, SUN JING-LAN, XU HUAI-ZHE, HAN YI-QIN
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出版历程
  • 收稿日期:  1996-11-05
  • 修回日期:  1997-03-28
  • 刊出日期:  1997-05-05

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