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超薄膜外延生长的计算机模拟

吴锋民 朱启鹏 吴自勤

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超薄膜外延生长的计算机模拟

吴锋民, 朱启鹏, 吴自勤

COMPUTER SIMULATION OF THE EPITAXY GROWTH IN ULTRA-THIN FILMS

WU FENG-MIN, ZHU QI-PENG, WU ZI-QIN
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  • 对超薄膜的生长过程进行了计算机模拟,得到与实验结果一致的团簇生长形貌及“台阶流动”结果,分析了邻晶面偏离角对成核密度等的影响,并计算了台阶流动的阈值及团簇的分形维数.
    The aggregation in ultra-thin films is simulated.The growth morphologies,such as the fractal growth of clusters and the “step-flow”,are obtained.The relation between the density of the clusters and the bias angle of vicinal surface is analyzed,and the threshold value of step-flow and the fractal dimensions of the clusters are also calculated.The simulation results are consistent with the experiments.
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出版历程
  • 收稿日期:  1997-11-17
  • 刊出日期:  1998-09-20

超薄膜外延生长的计算机模拟

  • 1. (1)浙江工业大学技术物理研究所,杭州 310014; (2)中国科学技术大学基础物理中心,合肥 230026

摘要: 对超薄膜的生长过程进行了计算机模拟,得到与实验结果一致的团簇生长形貌及“台阶流动”结果,分析了邻晶面偏离角对成核密度等的影响,并计算了台阶流动的阈值及团簇的分形维数.

English Abstract

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