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硅衬底的SrTiO3淀积膜的湿敏特性与机理研究

李观启 尤文俊 黄美浅 曾绍洪 黄钊洪

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硅衬底的SrTiO3淀积膜的湿敏特性与机理研究

李观启, 尤文俊, 黄美浅, 曾绍洪, 黄钊洪

SENSITIVITY OF HUMIDITY AND ITS MECHANISM FOR SrTiO3 FILMS DEPOSITED ON SiO2/Si SUBSTRATE

LI GUAN-QI, YOU WEN-JUN, HUANG MEI-QIAN, ZENG SHAO-HONG, HUANG ZHAO-HONG
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出版历程
  • 收稿日期:  1997-03-31
  • 刊出日期:  1998-01-20

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