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a-C∶H(N)薄膜结构的X射线光电子能谱分析

程宇航 吴一平 陈建国 乔学亮 谢长生 杨业智 莫少波

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a-C∶H(N)薄膜结构的X射线光电子能谱分析

程宇航, 吴一平, 陈建国, 乔学亮, 谢长生, 杨业智, 莫少波

STUDY ON THE STRUCTURE OF a-C∶H(N) FILMS BY XPS

CHENG YU-HANG, WU YI-PING, CHEN JIAN-GUO, QIAO XUE-LIANG, XIE CHANG-SHENG, YANG YE-ZHI, MUO SHAO-BO
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出版历程
  • 收稿日期:  1997-03-17
  • 修回日期:  1997-04-21
  • 刊出日期:  1998-01-20

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