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类金刚石薄膜的性质、应用及制备

梁 风 严学俭

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类金刚石薄膜的性质、应用及制备

梁 风, 严学俭

PROPERTY, APPLICATION AND PREPARATION OF DIAMOND-LIKE FILM

LIANG FENG, YAN XUE-JIAN
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出版历程
  • 收稿日期:  1998-05-11
  • 修回日期:  1998-07-10
  • 刊出日期:  1999-03-05

类金刚石薄膜的性质、应用及制备

  • 1. 复旦大学材料科学系,上海 200433

摘要: 介绍了类金刚石薄膜的结构特征,并详细讨论了采用物理化学气相沉积方法制备类金刚石薄膜过程中各相关参数之间的关系以及对薄膜结构和性质的影响.

English Abstract

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