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电子回旋共振等离子体特性及其对生长氮化镓晶膜的影响

杜小龙 陈广超 江德仪 姚鑫兹 朱鹤孙

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电子回旋共振等离子体特性及其对生长氮化镓晶膜的影响

杜小龙, 陈广超, 江德仪, 姚鑫兹, 朱鹤孙

PROPERTIES OF ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE PLASMAS AND THEIR INFLUENCE ON THE DEPOSITION OF GaN FILMS

DU XIAO-LONG, CHEN GUANG-CHAO, JIANG DE-YI, YAO XIN-ZI, ZHU HE-SUN
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出版历程
  • 收稿日期:  1998-08-13
  • 修回日期:  1998-08-28
  • 刊出日期:  1999-01-05

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