搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

GaN载流子浓度和迁移率的光谱研究

李志锋 陆 卫 叶红娟 袁先璋 沈学础 G.Li S.J.Chua

引用本文:
Citation:

GaN载流子浓度和迁移率的光谱研究

李志锋, 陆 卫, 叶红娟, 袁先璋, 沈学础, G.Li, S.J.Chua

OPTICAL SPECTROSCOPY STUDY ON CARRIER CONCENTRATION AND MOBILITY IN GaN

LI ZHI-FENG, LU WEI, YE HONG-JUAN, YUAN XIAN-ZHANG, SHEN XUE-CHU, G.Li, S.J.Chua
PDF
导出引用
  • 用红外反射光谱的方法对生长在蓝宝石衬底上的α-GaN外延薄膜的载流子浓度和迁移率进行了研究.通过测量蓝宝石衬底和不同Si掺杂浓度的一系列GaN外延膜的远红外反射谱并进行理论计算和拟合,得到GaN中的声子振动参量和等离子振荡的频率及阻尼常量,并由此计算得到其载流子浓度和迁移率.计算结果,红外方法得到的载流子浓度与Hall测量相一致,但迁移率比Hall迁移率要低约二分之一.同时红外谱与喇曼谱上明显观察到LO声子与等离子体激元耦合模,(LPP)随掺杂浓度的变化.
    We have studied the carrier concentration and the mobility in GaN expitaxial thin films deposited on sapphire substrate using infrared reflection spectroscopy. By theoretical calculation and fitting with the experimental IR reflection spectra for a series of Si-doped GaN epilayers and the sapphire substrate, we obtain the phonon vibrating parameters and plasmon frequency and damping constant in GaN. The carrier concentration and mobility have been deduced. The results show that the data for carrier concentration coincide with Hall measurement while the mobility is lower than Hall data by a factor of about 0.5. The variation of the LO phonon-plasmon coupling mode with doping level has been clearly observed. Raman measurement has been performed on the same series of samples, showing that the behavior of the LO phonon-plasmon coupling mode is similar to that in IR measurement.
计量
  • 文章访问数:  5572
  • PDF下载量:  1666
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  1999-12-09
  • 修回日期:  2000-01-23
  • 刊出日期:  2000-04-05

GaN载流子浓度和迁移率的光谱研究

  • 1. (1)Institute of Materials Research and Engineering,National University of Singapore,10 Kent Ridge Crescent,Singapore 119260; (2)中国科学院上海技术物理研究所,红外物理国家重点实验室,上海 200083

摘要: 用红外反射光谱的方法对生长在蓝宝石衬底上的α-GaN外延薄膜的载流子浓度和迁移率进行了研究.通过测量蓝宝石衬底和不同Si掺杂浓度的一系列GaN外延膜的远红外反射谱并进行理论计算和拟合,得到GaN中的声子振动参量和等离子振荡的频率及阻尼常量,并由此计算得到其载流子浓度和迁移率.计算结果,红外方法得到的载流子浓度与Hall测量相一致,但迁移率比Hall迁移率要低约二分之一.同时红外谱与喇曼谱上明显观察到LO声子与等离子体激元耦合模,(LPP)随掺杂浓度的变化.

English Abstract

目录

    /

    返回文章
    返回