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磁镜场对射频等离子体中离子能量分布的影响

刘洪祥 魏合林 刘祖黎 刘艳红 王均震

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磁镜场对射频等离子体中离子能量分布的影响

刘洪祥, 魏合林, 刘祖黎, 刘艳红, 王均震

EFFECT OF THE MAGNETIC MIRROR FIELD ON THE ION ENERGY DISTRIBUTIONS IN A RADIO F REQUENCY PLASMA

LIU HONG-XIANG, WEI HE-LIN, LIU ZU-LI, LIU YAN-HONG, WANG JUN-ZHEN
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出版历程
  • 收稿日期:  1999-10-03
  • 修回日期:  2000-01-15
  • 刊出日期:  2000-09-20

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