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激光分子束外延BaTiO3薄膜最顶层表面原子平面与薄膜生长机理

崔大复 陈 凡 赵 彤 师文生 陈正豪 周岳亮 吕惠宾 杨国桢 黄惠忠 张宏霞

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激光分子束外延BaTiO3薄膜最顶层表面原子平面与薄膜生长机理

崔大复, 陈 凡, 赵 彤, 师文生, 陈正豪, 周岳亮, 吕惠宾, 杨国桢, 黄惠忠, 张宏霞

TOPMOST SURFACE AND GROWTH MECHANISM OF BaTiO3 THIN FILM GROWN BY LAS ER MOLECULAR BEAM EPITAXY

CUI DA-FU, CHEN FAN, ZHAO TONG, SHI WEN-SHENG, CHEN ZHENG-HAO, ZHOU YUE-LIANG, LV HUI-BIN, YANG GUO-ZHEN, HUANG HUI-ZHONG, ZHANG HONG-XIA
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出版历程
  • 收稿日期:  2000-02-25
  • 刊出日期:  2000-09-20

激光分子束外延BaTiO3薄膜最顶层表面原子平面与薄膜生长机理

  • 1. (1)北京大学物理化学研究所,北京 100871; (2)中国科学院物理研究所与凝聚态物理中心,光物理实验室,北京 100080
    基金项目: 国家攀登和国家自然科学基金(批准号:59832050)资助的课题.

摘要: 用激光分子束外延技术在SrTiO3(001)衬底上外延生长了高质量的BaTiO3薄膜,薄膜的生长过程由反射式高能电子衍射仪(RHEED)原位实时监测,表明薄膜具有 二维层状生长模式.薄膜的晶体结构和表面形貌分别由X射线衍射和原子力显微镜表征,显示 该薄膜为完全c轴取向四方相晶体结构,其表面具有原子尺度光滑性.采用角分辨X射线光电 子谱技术(ARXPS),研究了BaTiO3薄膜表面最顶层原子种类和排列状况.结果表 明,BaTiO3

English Abstract

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