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质量分离低能离子束沉积碳膜及离子轰击效应

廖梅勇 张键辉 秦复光 刘志凯 杨少延 王占国 李述汤

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质量分离低能离子束沉积碳膜及离子轰击效应

廖梅勇, 张键辉, 秦复光, 刘志凯, 杨少延, 王占国, 李述汤

CARBON FILM DEPOSITED BY MASS-SELECTED LOW ENERGY ION BEAM TECHNIQUE AND ION BOMBARDMENT EFFECT

LIAO MEI-YONG, ZHANG JIAN-HUI, QIN FU-GUANG, LIU ZHI-KAI, YANG SHAO-YAN, WANG ZHAN-GUO, LEE SHUIT-TANG
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出版历程
  • 收稿日期:  2000-04-22
  • 刊出日期:  2000-11-20

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