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AlGaInP/GaAs HBT制备中质子注入隔离

程知群 孙晓玮 夏冠群 李洪芹 盛怀茂 钱蓉

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AlGaInP/GaAs HBT制备中质子注入隔离

程知群, 孙晓玮, 夏冠群, 李洪芹, 盛怀茂, 钱蓉

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出版历程
  • 收稿日期:  1999-06-13
  • 修回日期:  1999-08-02
  • 刊出日期:  2000-01-05

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