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离子能量和沉积温度对离子束沉积碳膜表面形貌的影响

廖梅勇 秦复光 柴春林 刘志凯 杨少延 姚振钰 王占国

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离子能量和沉积温度对离子束沉积碳膜表面形貌的影响

廖梅勇, 秦复光, 柴春林, 刘志凯, 杨少延, 姚振钰, 王占国

INFLUENCE OF ION ENERGY AND DEPOSITION TEMPERATURE ON THE SURFACE MORPHOLOGY OF CARBON FILMS DEPOSITED BY ION BEAMS

LIAO MEI-YONG, QIN FU-GUANG, CHAI CHUN-LIN, LIU ZHI-KAI, YANG SHAO-YAN, YAO ZHEN-YU, WANG ZHAN-GUO
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出版历程
  • 收稿日期:  2000-11-14
  • 修回日期:  2001-02-26
  • 刊出日期:  2001-07-20

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