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PtSi超薄膜厚度的一种检测方法研究

刘爽 宁永功 张毅 张怀武 陈艾 刘俊刚 杨家德 李昆

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PtSi超薄膜厚度的一种检测方法研究

刘爽, 宁永功, 张毅, 张怀武, 陈艾, 刘俊刚, 杨家德, 李昆

STUDY ON A METHOD OF THE THICKNESS MEASUREMENT OF ULTRA-THIN PtSi FILM

LIU SHUANG, NING YONG-GONG, ZHANG YI, ZHANG HUAI-WU, CHEN AI, LIU JUN-GANG, YANG JIA-DE, LI KUN
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出版历程
  • 收稿日期:  2000-12-15
  • 修回日期:  2001-02-23
  • 刊出日期:  2001-04-05

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