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高温下金属薄膜生长初期的模拟研究

吴锋民 施建青 吴自勤

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高温下金属薄膜生长初期的模拟研究

吴锋民, 施建青, 吴自勤

SIMULATION OF THE INITIAL GROWTH OF METAL THIN FILMS AT HIGH TEMPERATURE

WU FENG-MIN, SHI JIAN-QING, WU ZI-QIN
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出版历程
  • 收稿日期:  2000-12-07
  • 修回日期:  2001-03-12
  • 刊出日期:  2001-04-05

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