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实验条件对纳米多孔SiO2薄膜结构及特性的影响

吴广明 王珏 沈军 杨天河 张勤远 周斌 邓忠生 范滨 周东平 张凤山

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实验条件对纳米多孔SiO2薄膜结构及特性的影响

吴广明, 王珏, 沈军, 杨天河, 张勤远, 周斌, 邓忠生, 范滨, 周东平, 张凤山

WU GUANG-MING, WANG YU, SHEN JUN, YANG TIAN-HE, ZHANG QING-YUAN, ZHOU BIN, DENG ZHONG-SHENG, FAN BIN, ZHOU DONG-PING, ZHANG FENG-SHAN
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  • 刊出日期:  2006-12-22

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