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电子回旋共振等离子体增强沉积氟化非晶碳薄膜的光学性质

叶超 宁兆元 程珊华

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电子回旋共振等离子体增强沉积氟化非晶碳薄膜的光学性质

叶超, 宁兆元, 程珊华

OPTICAL PROPERTIES OF AMORPHOUS FLUORINATED CARBON FILMS PREPARED BY ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE PLASMA

YE CHAO, NING ZHAO-YUAN, CHENG SHAN-HUA
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-03-05
  • 修回日期:  2001-05-12
  • 刊出日期:  2001-05-05

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