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动态化学腐蚀法制备大锥角近场光纤探针

孙家林 田广彦 李勤 赵钧 郭继华 谢爱芳 张泽渤

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动态化学腐蚀法制备大锥角近场光纤探针

孙家林, 田广彦, 李勤, 赵钧, 郭继华, 谢爱芳, 张泽渤

FABRICATION OF LARGE CONE ANGLE OPTICAL FIBER PROBE BY DYNAMIC CHEMICAL ETCHING METHOD

SUN JIA-LIN, TIAN GUANG-YAN, LI QIN, ZHAO JUN, GUO JI-HUA, XIE AI-FANG, ZHANG ZE-BO
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  • 基于液压传递原理,设计出一种用动态化学腐蚀法制备大锥角近场光纤探针的装置.实验结果表明,在传统的化学腐蚀法制备光纤探针的过程中,通过控制腐蚀液液面的上升速度,可以有效地控制探针针尖的形状以及锥角的大小.在此基础上,还论述了分步控制光纤与腐蚀液液面的相对位移的方法在大锥角光纤探针的制备中所具有的独特优越性.利用所制备的大锥角近场光纤探针在扫描近场光学显微镜上对直径为200nm的小球进行探测,其力学像证实该探针具有较高的形貌分辨率(约为50nm).
    According to the hydraulic transmission principle, a device for fabricating large cone angle near-field optical fiber probe by means of dynamic chemical etching is developed. The results indicated that in the course of traditional fabrication of optical fiber probes by chemical etching, the configuration and the cone angle of the taper can be controlled efficiently through controlling the velocity of the lifting of etching fluid. Furthermore, The advantage of controlling the displacement between optical fiber probe and etching fluid step by step in the fabrication of large cone angle optical fiber probe is also described in this paper. A large cone angle near-field optical fiber probe in scanning near-field optical microscopy is applied to measuring the sphere with a diameter 200nm. Its force images show that this probe has high topography resolution (~50nm).
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:198903807和69808003);北京市自然科学基金(批准号:2992018)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2000-05-23
  • 修回日期:  2001-07-04
  • 刊出日期:  2001-06-05

动态化学腐蚀法制备大锥角近场光纤探针

  • 1. (1)清华大学物理系单原子分子测控教育部重点实验室,北京100084; (2)中国科学院物理研究所光物理实验室,北京100080
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:198903807和69808003)

    北京市自然科学基金(批准号:2992018)资助的课题.

摘要: 基于液压传递原理,设计出一种用动态化学腐蚀法制备大锥角近场光纤探针的装置.实验结果表明,在传统的化学腐蚀法制备光纤探针的过程中,通过控制腐蚀液液面的上升速度,可以有效地控制探针针尖的形状以及锥角的大小.在此基础上,还论述了分步控制光纤与腐蚀液液面的相对位移的方法在大锥角光纤探针的制备中所具有的独特优越性.利用所制备的大锥角近场光纤探针在扫描近场光学显微镜上对直径为200nm的小球进行探测,其力学像证实该探针具有较高的形貌分辨率(约为50nm).

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