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射频等离子体鞘层动力学模型

戴忠玲 王友年 马腾才

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射频等离子体鞘层动力学模型

戴忠玲, 王友年, 马腾才

DYNAMICAL MODEL OF THE RADIO-FREQUENCY PLASMA SHEATH

DAI ZHONG-LING, WANG YOU-NIAN, MA TENG-CAI
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-05-15
  • 修回日期:  2001-06-12
  • 刊出日期:  2001-06-05

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