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a-Si∶O∶H薄膜微结构及其高温退火行为研究

王永谦 陈长勇 陈维德 杨富华 刁宏伟 许振嘉 张世斌 孔光临 廖显伯

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a-Si∶O∶H薄膜微结构及其高温退火行为研究

王永谦, 陈长勇, 陈维德, 杨富华, 刁宏伟, 许振嘉, 张世斌, 孔光临, 廖显伯

THE MICROSTRUCTURE AND ITS HIGH-TEMPERATURE ANNEALING BEHAVIOURS OF a-Si∶O∶H FILM

WANG YONG-QIAN, CHEN CHANG-YONG, CHEN WEI-DE, YANG FU-HUA, DIAO HONG-WEI, XU ZHEN-JIA, ZHANG SHI-BIN, KONG GUANG-LIN, LIAO XIAN-BO
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-05-30
  • 修回日期:  2001-06-22
  • 刊出日期:  2001-06-05

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