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磁控溅射淀积掺Er富Si氧化硅膜中Er3+ 1.54μm光致发光

袁放成 冉广照 陈源 张伯蕊 乔永平 傅济时 秦国刚 马振昌 宗婉华

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磁控溅射淀积掺Er富Si氧化硅膜中Er3+ 1.54μm光致发光

袁放成, 冉广照, 陈源, 张伯蕊, 乔永平, 傅济时, 秦国刚, 马振昌, 宗婉华

ROOM-TEMPERATURE 1.54μm Er3+ PHOTOLUMINESCENCE FROM Er-DOPED SILICON-RICH SILICON OXIDE FILM GROWN BY MAGNETRON SPUTTERING

YUAN FANG-CHENG, RAN GUANG-ZHAO, CHAN YUAN, ZHANG BO-RUI, QIAO YONG-PING, FU JI-SHI, QIN GUO-GANG, MA ZHEN-CHANG, ZONG WAN-HUA
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-04-19
  • 修回日期:  2001-06-15
  • 刊出日期:  2001-06-05

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