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在Si(111)上用有机溶胶凝胶甩膜热解法制备(0001)定向的6H-SiC薄膜

王玉霞 郭震 何海平 曹颖 汤洪高

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在Si(111)上用有机溶胶凝胶甩膜热解法制备(0001)定向的6H-SiC薄膜

王玉霞, 郭震, 何海平, 曹颖, 汤洪高

EPITAXIAL GROWTH OF (0001)ORIENTED 6H-SiC FILMS ON Si(111) SUBSTRATE BY ORGANIC SOL-GEL FILM ANNEALING

WANG YU-XIA, GUO ZHEN, HE HAI-PING, CAO YING, TANG HONG-GUO
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出版历程
  • 收稿日期:  2000-03-12
  • 修回日期:  2000-10-07
  • 刊出日期:  2001-01-05

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