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Si3N4/Si表面Si生长过程的扫描隧道显微镜研究

汪雷 唐景昌 王学森

引用本文:
Citation:

Si3N4/Si表面Si生长过程的扫描隧道显微镜研究

汪雷, 唐景昌, 王学森

SCANNING TUNNELING MICROSCOPY STUDY OF Si GROWTH ON Si3N4/Si SURFACE

WANG LEI, TANG JING-CHANG, WANG XUE-SEN
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出版历程
  • 收稿日期:  2000-10-01
  • 修回日期:  2000-10-21
  • 刊出日期:  2001-03-20

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