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源气体对沉积的a-C∶F∶H薄膜结构的影响

辛煜 宁兆元 程珊华 陆新华 江美福 许圣华 叶超 黄松 杜伟

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源气体对沉积的a-C∶F∶H薄膜结构的影响

辛煜, 宁兆元, 程珊华, 陆新华, 江美福, 许圣华, 叶超, 黄松, 杜伟

Xin Yu, Ning Zhao-Yuan, Cheng Shan-Hua, Lu Xin-Hua, Wang Mei-Fu, Xu Sheng-Hua, Ye Chao, Huang Song, Du Wei
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-11-20
  • 修回日期:  2002-01-19
  • 刊出日期:  2002-04-05

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