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利用强流脉冲离子束技术在室温下沉积类金刚石薄膜研究

梅显秀 徐军 马腾才

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利用强流脉冲离子束技术在室温下沉积类金刚石薄膜研究

梅显秀, 徐军, 马腾才

Mei Xian-Xiu, Xu Jun, Ma Teng-Cai
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-11-16
  • 刊出日期:  2002-04-05

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